安捷伦(Agilent)4155C半导体参数分析仪

一、设备整体概述 Agilent 4155C（前身 HP 品牌，现归属是德科技 Keysight）是经典一体式固定通道实验室级半导体 IV/CV 参数分析仪，定位研发型中小规模器件直流电学表征，区别于 HP 4142B 的 8 槽自由模块化插卡架构，4155C 为出厂内置固定测量单元、开箱即用的紧凑型主机。 整机标配 4 路独立中功率 SMU 源测通道 + 2 路电压源 VSU+2 路电压监测 VMU，原生支持IV 伏安特性扫描 + 准静态 QSCV 电容 - 电压测试两大核心功能，最低可达 10fA 飞安级微弱电流分辨率，自带 EasyEXPERT 上位机分析软件，可自动提取 MOS 阈值电压、三极管放大倍数、载流子迁移率等器件关键参数。 该型号已原厂全面停产，是德科技提供付费校准、固件修复、备件维修技术支持，凭借操作简单、集成度高、CV 测量原生内置的优势，至今仍是高校实验室、半导体研发小批量样品表征的主流二手标杆仪器。 二、内部固定通道硬件配置（不可自行插拔更换） 出厂固化内部模块，无法像 4142B 一样自由增减高压 / 大电流模块： 4 路 MPSMU 中功率源测量单元（核心 SMU 通道） 每通道独立四象限激励测量，完成电压 / 电流可编程输出与同步回采，构成器件 4 引脚完整测试能力（MOS 栅 / 漏 / 源 / 衬底四端同步施加） 2 路 VSU 独立电压源单元 低噪声辅助偏置电压输出，用于衬底电位控制、双栅器件、复合半导体多极偏置 2 路 VMU 高精度电压监测单元 超高灵敏度电压采集，搭配四线制 Remote Sense 补偿引线压降，微弱电压信号检测、高阻绝缘测量专用 可选外部扩展单元：41501B 功率扩展箱 通过外接 41501B 扩展模块升级能力： 升级高压大功率 SMU：±200V / ±1A 输出，用于功率器件击穿、大电流导通测试 增加双脉冲发生器 PGU，实现脉冲 IV 测试，抑制功率器件自发热参数漂移